%0 Computer Program
%T 3.5 Excimer lasers: Datasheet from Landolt-Börnstein - Group VIII Advanced Materials and Technologies · Volume 1B1: "Laser Physics and Applications" in SpringerMaterials (https://doi.org/10.1007/978-3-540-44821-1_7)
%A Sowada, U.
%E Herziger, G.
%E Weber, H.
%E Poprawe, R.
%I Springer-Verlag
%F LandoltBornstein2007:sm_lbs_978-3-540-44821-1_7
%O Copyright 2007 Springer-Verlag
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%O accessed 2021-01-22
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